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壓電傳感器常用敏感材料對比
 
錄入時間:2024-06-05 16:16:38瀏覽次數:1
 

(1)壓電陶瓷

壓電陶瓷是一種具有壓電性能的陶瓷材料,它是由若干不同的氧化物,諸如氧化鋁、氧化鋇、氧化鈦、氧化鈉等,按照比例配合,經過成型、高溫固相反應、燒結,*后合成制造出來的。它具有一種奇異的壓電效應特性,即當受到微小外力作用時,能夠把機械能轉化為電能,當加上交變電壓時,又會把電能變成機械能。

(2)細晶粒壓電陶瓷

以往的壓電陶瓷是由幾微米至幾十微米的多疇晶粒組成的多晶材料,當把粒徑減小至亞微米級時,可以改進材料的加工性,使基片可以做得更薄,提高陣列頻率,降低換能器陣列的損耗,提高器件的機械強度,減小多層器件每層的厚度。減小粒徑許多好處,但同時也帶來了降低壓電效應的影響。為了克服這種影響,人們更改了傳統的摻雜工藝,使細晶粒壓電陶瓷壓電效應增加到與粗晶粒壓電陶瓷相當的水平。近年來,人們用細晶粒壓電陶瓷進行了切割研磨研究,并制作出了一些高頻換能器、微制動器及薄型蜂鳴器(瓷片20-30um厚),證明了細晶粒壓電陶瓷的優越性。隨著納米技術的發展,細晶粒壓電陶瓷材料研究和應用開發仍是近期的熱點。

(3)壓電性特異的多元單晶壓電體

傳統的壓電陶瓷較其它類型的壓電材料壓電效應要強,從而得到了廣泛應用。但作為大應力,高能換能材料,傳統壓電陶瓷的壓電效應仍不能滿足要求。于是近幾年來,人們為了研究出具有更優異壓電性的新壓電材料,做了大量工作,現已發現并研制出了Pb(A1/3B2/3)PbTiO3單晶(A=Zn2+,Mg2+)。這類單晶的d33高可達2600pc/N(壓電陶瓷d33大為850pc/N),k33可高達0.95(壓電陶瓷K33高達0.8),其應變大于1.7%,幾乎比壓電陶瓷應變高一個數量級。儲能密度高達130J/kg,而壓電陶瓷儲能密度在10J/kg以內。現在美國、日本、俄羅斯和中國已開始進行這類材料的生產工藝研究,它的批量生產的成功必將帶來壓電材料應用的飛速發展。

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