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光電開關的電荷耦合器件縮寫為ccd,是一種大規模金屬氧化物半導體mos集成電路光電器件。它以電荷為信號,具有光電信號轉換、存儲器、轉移并輸出信號電荷的功能。Ccd自1970年問世以來,由于其獨特的性能而發展迅速,廣泛應用于航天、遙感、工業、農業、天文及通訊等軍用及民用領域的信息存儲及信息處理等方面,尤其適用于以上領域中的圖像識別技術。光電開關傳感器的固態圖像傳感器由光敏元件陳列和電荷轉移器件集合而成。它的核心是電荷轉移器件,最常用的是電荷耦合器ccd。
對于光電開關電荷轉移器件是由若干個電荷耦合單元組成的。其基本單元是mos(金屬-氧化物-半導體)電容器,它以p型或n型半導體為襯底,上面覆蓋一層厚度約120nm的sio2,再在sio2表面依次沉積一層金屬電極而構成mos電容轉移器件。這樣一個mos結構稱為一個光敏元或一個像素。將mos陳列加上輸入,輸出結構就構成了ccd器件。
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